近年来,随着半导体技术的不断进步,特别是进入纳米级制造工艺后,该行业对于制造过程中使用的化学品提出了更高的要求。因此,在半导体行业高速发展的同时,半导体工艺中的关键性化工材料——湿电子化学品也在随之不断发展和变化,其质量好坏对半导体的成品率、电性能和可靠性等起着至关重要的作用。
近日,由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会(以下简称“国促会标委会”)联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《半导体用湿电子化学品技术要求》团体标准启动会成功召开。
会议由国促会标委会标准部张学茸主持,标准起草组副组长、标准部副主任刘旭彤出席会议。滨州裕能电子材料股份有限公司、西安吉利电子新材料股份有限公司、江苏德纳化学股份有限公司、西陇科学股份有限公司、四川格林达电子材料有限公司、上海韩科科技有限公司、索尔维蓝天(衢州)化学品有限公司、福晨(天津)化学试剂有限公司、无锡恒大电子科技有限公司、永华化学股份有限公司、江苏美阳电子材料有限公司、华沃德源生态环境科技(重庆)有限公司、成都市科隆化学品有限公司、广东天承科技股份有限公司、山东长信化学科技股份有限公司、上海汉宇净化科技有限公司、福建申芯电子材料有限责任公司、昆山晶科微电子材料有限公司、新迈奇材料股份有限公司、华东理工大学、北京化学试剂研究所有限责任公司、广州航海学院/广州交通大学、信联电子材料科技股份有限公司、河南慧泽生物工程有限公司、通标中研标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次启动会。
会上,张学茸就国促会成立以来的发展情况以及工作内容进行详细介绍,并对《半导体用湿电子化学品技术要求》团体标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、标准工作计划进行汇报,得到了参会代表的一致认可。
在标准讨论环节,行业专家和参编单位代表围绕《半导体用湿电子化学品技术要求》团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、产品分类、通用要求、试验方法等内容进行积极研讨,从产品纯度、杂质含量、技术要求等方面规范了湿电子化学品在半导体制造中的纯度和适用性,旨在满足半导体制造业的高标准要求,对优化国内湿电子化学品产业和解决电子化学品“卡脖子”问题具有重要推动作用,有助于加快湿电子化学品产业集群可持续高质量发展。
会议最后,刘旭彤副主任对本次会议进行总结发言。他表示,半导体产业作为我国国民经济的重要支柱,其发展速度日益加快,在半导体产业中占据着举足轻重的地位。近年来,我国发布《制造业可靠性提升实施意见》等多项支持政策,推动半导体用湿电子化学品发展,为湿电子化学品领域标准化建设奠定了坚实基础。编制《半导体用湿电子化学品技术要求》团体标准,将有力推动相关产业技术规范和进步,为半导体用湿电子化学品行业规范化发展提供指导和参考。
在我国经济结构转型、产业结构调整的背景下,湿电子化学品对半导体产业发展有着重大影响。特别是随着科技的进步和电子元器件制造工艺的提升,湿电子化学品的技术要求也将不断提高。该标准的编制,将推动湿电子化学品行业不断加强技术研发和创新,使其具备更高的纯度、更低的杂质含量以及更好的稳定性和适应性,助力半导体行业迎来更大的发展机遇。