国家从战略高度持续支持电子材料行业发展及应用推广，为高纯氧化锌铝靶材大规模产业化发展提供了良好的研发基础和市场条件。为加快提升国内高纯氧化锌铝靶材生产企业相关技术，提高我国靶材内生增长力。近日，由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会（以下简称“国促会标委会”）联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《高纯氧化锌铝靶材》团体标准审查会成功召开。
会议由国促会标委会标准部程鹤岳主持，标准起草组副组长、标准部副主任李千钧出席会议。江苏迪纳科精细材料股份有限公司、安徽纬科材料科技有限公司、江苏东玖光电科技有限公司、江苏迪丞光电材料有限公司、西安方科新材料科技有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司、江苏海泰光电材料科技股份有限公司、通标中研标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次审查会。
会上，程鹤岳介绍了国促会成立以来的发展情况以及工作内容，并对《高纯氧化锌铝靶材》标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、主要技术内容等向专家组和参编单位进行了详细汇报。在凝练我国高端靶材制备关键技术的基础上，着眼未来发展目标，提出了高纯氧化锌铝靶材产业的重点发展方向，并以此提升高纯氧化锌铝靶材的发展质量和水平。
在标准讨论环节，行业专家和参编单位代表围绕《高纯氧化锌铝靶材》团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、分类、化学成分要求、试验方法等内容进行逐章逐条审查，一致认为该标准以行业现有相关技术指标和要求为基础，以综合性、系统性为原则，明确了高纯氧化锌铝靶材的物理性能、检验方法，并对其性能和成分提出了更高的要求，填补了我国高纯氧化锌铝靶材相关标准空白，为靶材行业生产、贸易、质量检测等方面提供了标准参考。专家组表示，随着社会的不断进步，人工智能、大数据与工业的全方位系统集成，高纯氧化锌铝靶材产业取得了重大突破，能够更好地满足电子工业要求，并在高强度和恶劣环境下稳定工作，用于制造集成电路、晶体管等电子元器件，具有很高的实用价值。
会议最后，李千钧副主任对本次会议进行总结发言。他表示，近年来，国家有关部门陆续出台多项政策鼓励靶材行业发展，为行业提供了强大助力，也推动了上游材料端的健康快速发展。本次审查的《高纯氧化锌铝靶材》团体标准内容完整、规范，符合国家相关法律法规和强制性标准的有关规定，严格制定并遵循该标准，有助于加快高纯氧化锌铝靶材国产化进程，推动其从技术提升、行业规范、产业布局等方面高质量发展。
由于靶材下游客户对品质和稳定性要求较高，建立和发布《高纯氧化锌铝靶材》团体标准可帮助供应商和客户生产及选择高质量靶材产品，促进高纯氧化锌铝靶材在电子、工业等方面的应用，推动生产规模化和技术提升，为行业可持续发展提供有力保障。