半导体用特种气体是半导体制造过程中不可或缺的重要材料。在半导体制造过程中，特种气体被广泛应用于氧化、蚀刻、化学气相沉积、离子注入等关键工艺环节。由于半导体制造对气体纯度、稳定性、安全性等要求极高，因此特种气体在半导体制造中具有举足轻重的地位。
近日，由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会（以下简称“国促会标委会”）联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《半导体用特种气体技术要求》团体标准启动会成功召开。
会议由国促会标委会标准部李千均主持，标准起草组副组长、标准部副主任陈鑫，标准部刘璐出席会议。杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、湖南凯美特气体股份有限公司、上海韩科科技有限公司、无锡恒大电子科技有限公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、金宏气体股份有限公司、宁夏胜蓝化工环保科技有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、上海正帆科技股份有限公司、盈德气体集团、西安吉利电子新材料股份有限公司、全椒南大光电材料有限公司、通标中研标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次启动会。
会上，李千均就国促会成立以来的发展情况及工作内容进行详细介绍，刘璐对《半导体用特种气体技术要求》团体标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、标准工作计划进行说明，得到了参会代表的一致认可。
在标准讨论环节，行业专家和参编单位代表围绕《半导体用特种气体技术要求》团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、分类、通用要求等内容进行积极研讨，对特种气体技术做了详细规定，并对气体纯度提出了更高的要求，旨在极大改善半导体用特种气体净化工艺，以此提高电子器件生产良率和性能，推动半导体器件质的提升以及特种气体国产化进程。
会议最后，陈鑫副主任对本次会议进行总结发言。她表示，国家六部委发布的《关于“十四五”推动石化化工行业高质量发展的指导意见》文件中明确提出，要实施“三品”行动，提升化工产品供给质量，加快发展高端聚烯烃电子化学品、工业特种气体、高性能橡塑材料、高性能纤维、生物基材料、专用润滑油脂等产品。为积极响应国家政策，国促会标委会在前期充分调研的基础上提出《半导体用特种气体技术要求》这项标准，也是希望能够通过制定和发布这项标准，为行业标准化能力提升提供标准依据和技术支撑，加快产业链上下游企业间的协作，推动市场向高质量、高效能方向发展。
在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子气体，其对国民经济发展有着战略性的支持作用，同时也被喻为是“工业血液”，很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。为更好地满足半导体器件的质量和成品率，推动电子特气产业发展，编制《半导体用特种气体技术要求》团体标准，对提升半导体集成电路芯片的质量和性能具有重要意义，可加快行业更好地提升特种气体技术。期待在业内企业的共同努力下，半导体用特种气体将为我国科技发展做出更大的贡献。