近年来，我国发布《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策》《关于“十四五”推动石化化工行业高质量发展的指导意见》等相关政策支持文件，其中提出要实施“三品”行动，提升化工产品供给质量，加快发展高端聚烯烃电子化学品、半导体特种气体、高性能橡塑材料、高性能纤维、生物基材料、专用润滑油脂等产品。
近日，由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会（以下简称“国促会标委会”）联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《半导体用特种气体技术要求》团体标准审查会成功召开。
会议由国促会标委会刘璐主持，标准起草组副组长、标准部副主任裴景朵，标准部田添出席会议。杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、湖南凯美特气体股份有限公司、上海韩科科技有限公司、无锡恒大电子科技有限公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、金宏气体股份有限公司、宁夏胜蓝化工环保科技有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、正帆科技（湖州）有限公司、通标中研标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次审查会。
会上，田添介绍了国促会成立以来的发展情况以及工作内容，刘璐对《半导体用特种气体技术要求》团体标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、主要技术内容等向专家组和参编单位进行了详细汇报。旨在进一步提升半导体产品的质量和生产效率，确保半导体制造的高质量和高性能，推动整个产业迈向更高水平。
在标准讨论环节，行业专家和参编单位代表围绕《半导体用特种气体技术要求》团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、分类、通用要求、技术要求等内容进行逐章逐条审查，一致认为该标准以行业现有相关技术指标和要求为基础，以综合性、系统性为原则，规范了特种气体在半导体应用中的纯度、流量、压力等关键参数，对气体的流量稳定性和压力控制精度提出了更高要求。专家组表示，特殊气体在高温下会发生热分解，因此必须选择与之兼容的材料来制造气体输送系统的组件，保障半导体的安全生产过程。
会议最后，裴景朵副主任对本次会议进行总结发言。她表示，随着全球半导体产业的蓬勃发展，特种气体作为半导体制造中的关键原材料，在半导体制造中具有举足轻重的地位。本次会议对半导体用特种气体技术要求的纯度、杂质控制、输送系统、应用领域等内容进行了全面审查，标准内容科学合理、严谨规范，对保障我国半导体材料供应链安全具有重要意义。
半导体用特种气体技术要求的全面升级，标志着半导体产业正朝着更高质量、更高效率、更安全环保的方向发展。本标准的制定与宣贯，有利于提升半导体产品的性能和可靠性，将推动整个产业转型升级和可持续发展。