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《半导体用湿电子化学品技术要求》团体标准审查会顺利召开

2024-10-31

半导体产业作为我国国民经济的重要支柱,其发展速度日益加快。作为半导体制造过程中的关键材料,湿电子化学品在半导体产业中占据着举足轻重的地位。

近日,由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会(以下简称“国促会标委会”)联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《半导体用湿电子化学品技术要求》团体标准审查会成功召开。

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会议由国促会标委会标准部张学茸主持,标准起草组副组长、标准部副主任刘莉慧出席会议。滨州裕能电子材料股份有限公司、西安吉利电子新材料股份有限公司、江苏德纳化学股份有限公司、西陇科学股份有限公司、四川格林达电子材料有限公司、上海韩科科技有限公司、索尔维蓝天(衢州)化学品有限公司、福晨(天津)化学试剂有限公司、无锡恒大电子科技有限公司、永华化学股份有限公司、江苏美阳电子材料有限公司、华沃德源生态环境科技(重庆)有限公司、广东天承科技股份有限公司、山东长信化学科技股份有限公司、上海汉宇净化科技有限公司、福建申芯电子材料有限责任公司、昆山晶科微电子材料有限公司、通标中研标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次审查会。

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会上,张学茸就国促会成立以来的发展情况以及工作内容进行详细介绍,对《半导体用湿电子化学品技术要求》团体标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、主要技术内容等向专家组和参编单位进行详细汇报。深入分析湿电子化学品在半导体领域的实际发展情况,并对上游湿电子化学品的纯度、洁净度做出明确要求。

在标准讨论环节,行业专家和参编单位代表围绕《半导体用湿电子化学品技术要求》团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、产品分类、通用要求、试验方法等内容进行全面审查,认为该标准以行业现有相关技术指标和要求为基础,以综合性、系统性为原则,对湿电子化学品提出了更高的要求,规范了湿电子化学品的产品分类,并从产品纯度、杂质含量、技术要求等方面明确了湿电子化学品在半导体制造的纯度和适用性,为推动半导体用湿电子化学品不断向前发展提供了标准支撑。专家组表示,未来随着半导体、显示面板工艺精度的提升,对湿电子化学品的纯度要求也将不断提高。为提高湿电子化学品自主创新能力,加快我国湿电子化学品国产化进度,编制湿电子化学品相关标准规范,可助推半导体行业不断提高湿电子化学品技术水平,使其具备稳定的生产能力并获得更多市场机会。

会议最后,刘莉慧副主任对本次会议进行总结发言。她表示,近年来,我国发布多项支持政策,如《制造业可靠性提升实施意见》等文件,大力支持半导体产业,推动半导体用湿电子化学品发展。由于湿电子化学品在各应用领域的产品标准有所不同,建立《半导体用湿电子化学品技术要求》团体标准,将有助于行业企业提升产品的一致性和质量,提高湿电子化学品的纯度要求,助力国内半导体供应链安全提升和企业稳定地产出高质量产品。

当下,全球半导体市场整体规模和晶圆产能处于持续扩张状态,加之国家对集成电路、新一代显示面板产业的扶持力度逐渐加大,持续推动半导体全产业发展,可为国内湿电子化学品企业带来更多机会。本次审查的该标准,更加贴合市场实际情况,将有效地指导国内厂商对湿电子化学品技术提升和推广应用,助力企业提高在半导体、湿电子化学品方面的话语权,以标准化手段助推我国半导体产业高质量发展。

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