扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）能够提供高分辨率的微观形貌图像，实现微区元素的定性和定量分析。而肖特基电子枪作为扫描电子显微镜的核心部件，以其高亮度、低能量散射和优异的束流稳定性，为高分辨率成像和快速元素分析提供了关键技术支持。
近日，由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会（以下简称“国促会标委会”）联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）分析技术规范》《扫描电子显微镜用肖特基电子枪技术要求》两项团体标准启动会顺利召开。
会议由国促会标委会标准部李千均主持，标准起草组副组长、标准部副主任王志豪，标准部田添、李海龙出席会议。惠然科技有限公司、北京大学、北京金竟科技有限责任公司、东方显微（北京）科技有限公司、北京芯愿景软件技术股份有限公司、通标中研标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次启动会。
会上，李千均对牵头起草的惠然科技有限公司发展概况以及荣誉奖项进行了详细介绍，对《扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）分析技术规范》《扫描电子显微镜用肖特基电子枪技术要求》两项团体标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、标准工作计划进行汇报说明，得到了参会代表的一致认可。
在标准讨论环节，田添与李海龙带领与会人员逐章逐条讲解标准内容，行业专家和参编单位代表围绕《扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）分析技术规范》《扫描电子显微镜用肖特基电子枪技术要求》两项团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、方法原理、仪器、电子束装置结构、技术要求等内容进行积极研讨，涵盖从样品制备、仪器操作到数据分析的全流程，旨在确保分析结果的准确性和可重复性。同时，明确扫描电子显微镜用肖特基电子枪的关键性能指标，提高扫描电子显微镜的成像质量和性能要求。
会议最后，王志豪副主任对本次会议进行总结发言。他表示，随着科技快速发展，对高分辨率和高效率的显微分析技术需求日益增长。扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）分析技术和肖特基电子枪技术作为重要的微观分析手段，在材料科学、纳米技术等领域发挥着不可替代的作用。通过制定统一的标准，有助于促进扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）分析技术的广泛应用，提升扫描电子显微镜用肖特基电子枪的技术水平和产品质量，进一步推动我国在相关领域的研究与发展。
本次制定这两项标准，不仅有助于提升我国在该领域的科学技术水平，还将为科研人员和企业提供更加科学、规范的技术指导，加速科技成果转化和产业升级。未来，随着这两项团体标准的正式发布和实施，将有效规范扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）分析技术和肖特基电子枪的技术应用，推动相关设备制造和检测服务的标准化发展。