扫描电镜-能谱仪（SEM - EDS）分析技术能够提供高分辨率的微观形貌图像，并实现微区元素的定性和定量分析。而肖特基电子枪作为扫描电子显微镜的核心部件，以其高亮度、低能量散射和优异的束流稳定性，为高分辨率成像和快速元素分析提供了关键技术支持。
近日，由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会（以下简称“国促会标委会”）联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）分析技术规范》《扫描电子显微镜用肖特基电子枪技术要求》两项团体标准审查会成功召开。
会议由国促会标委会标准部田添主持，标委会标准起草组副组长、标准部副主任王志豪，标准部李海龙出席会议。惠然科技有限公司、北京大学、北京金竟科技有限责任公司、东方显微（北京）科技有限公司、北京芯愿景软件技术股份有限公司、通标中研标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次审查会。
会上，李海龙就国促会成立以来的发展情况以及工作内容进行详细介绍，与田添分别对《扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）分析技术规范》《扫描电子显微镜用肖特基电子枪技术要求》两项团体标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、主要技术内容等向专家组和参编单位进行汇报说明，重点对扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）在材料微观结构及成分分析中的应用进行讨论，旨在完善仪器校准和质量控制的相关要求，以满足不同应用场景下的分析需求。同时，明确扫描电子显微镜用肖特基电子枪的关键性能指标，提高扫描电子显微镜的成像质量和性能要求。
在标准讨论环节，行业专家和参编单位代表围绕《扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）分析技术规范》《扫描电子显微镜用肖特基电子枪技术要求》两项团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、方法原理、仪器、电子束装置结构、技术要求等内容进行全面审查，一致认为该标准以行业现有相关技术指标和要求为基础，以综合性、系统性为原则，旨在推动扫描电子显微镜及其关键部件的技术标准化，为行业提供科学、可操作的技术规范，确保设备性能的稳定性和可靠性。专家组表示，两项团体标准整体框架合理、内容完整、技术指标明确，具有较强的科学性和实用性，通过建立完整的团体标准，有助于减少行业间技术壁垒，促进产业链上下游企业有效衔接与协同创新，助推扫描电子显微镜技术规范化、标准化发展。
会议最后，王志豪副主任对本次会议进行总结发言。他表示，随着科学研究和工业生产的不断深入，行业对扫描电子显微镜及其关键部件的需求也在持续增长。制定这两项团体标准，有助于规范扫描电镜-能谱仪（SEM-EDS）分析技术和肖特基电子枪的技术应用，加速科技成果转化和产业升级，为我国在材料科学、纳米技术等领域的研究与发展提供有力支撑。
此次审查会的成功举办，不仅为我国扫描电子显微镜及其关键部件的技术标准化工作奠定了坚实基础，也为行业提供了更加科学、规范的技术指导。未来，随着这两项团体标准的实施与推广，将有力推动我国扫描电子显微镜技术创新应用，引领相关行业在仪器使用和科研实践方面迈向更加规范、高效的发展新阶段。