8月28日，由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会（以下简称“国促会标委会”）联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《等离子体增强原子层沉积设备技术要求》《原子层沉积工艺仿真建模方法》两项团体标准启动会顺利召开。会议由国促会标委会标准部付梦超主持，相关参编单位代表、行业专家参会，标准起草组副组长、标准部副主任郭嫚丽出席会议，该标准由中国科学院电工研究所牵头起草，业内多家企业、高校共同参与标准讨论。
会上，付梦超就国促会成立以来的发展情况以及工作内容进行详细介绍，对《等离子体增强原子层沉积设备技术要求》《原子层沉积工艺仿真建模方法》两项团体标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、标准工作计划进行汇报说明。行业专家和参编单位代表围绕两项团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、技术要求、基本要求等内容进行积极研讨，明确等离子体增强原子层沉积设备的各项性能指标，并对模型验证的流程和标准进行严格约束，旨在确保设备性能满足工艺需求，提高仿真模型的准确性和可靠性，帮助用户更好地利用仿真技术提高工艺效率和产品质量。会议内容得到参会代表一致通过。
会议最后，郭嫚丽副主任对本次会议进行总结发言。她表示，随着半导体、新能源等高端制造领域向高精度方向突破，原子层沉积技术凭借其单原子层级别的精准沉积能力、优异的薄膜均匀性与保形性，成为制备超薄功能薄膜、提升器件性能的核心技术。近年来，国家对半导体装备、先进制造技术的自主可控给予了高度重视，在政策层面持续加码，建立并完善原子层沉积相关标准体系，将有助于引导科研机构与企业聚焦核心技术攻关，推动原子层沉积技术从实验室研发向规模化工业应用转化，助力我国在半导体装备、新能源制造等高端领域突破国外技术壁垒，提升产业链自主可控能力。