当前，半导体产业作为现代信息技术的基石，正处于蓬勃发展的关键时期。在半导体制造工艺中，半导体级臭氧发生器扮演着极为重要的角色。为推动半导体行业臭氧发生器朝着标准化、规范化、高质量的方向迈进，近日，由青岛国林半导体技术有限公司和中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会（以下简称“国促会标委会”）联合主办的“半导体级臭氧发生器标准化发展研讨会”暨《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准启动会在山东省青岛市崂山区株洲路188号甲顺利召开。
会议由青岛国林半导体公司总经理徐洪魁主持，本次会议特别邀请湿法清洗工艺专家，欢芯鼓伍创始人罗仕洲博士及相关参编单位代表、行业专家参会，国促会标委会冀云、晨萌出席会议，北方华创等十余家企业共同参与标准讨论。
会议伊始，青岛国林半导体公司总经理徐洪魁对工作背景进行了详细介绍，并发表致辞，表达了对推动半导体级臭氧发生器标准化工作的重视与期望。随后，湿法清洗工艺专家、欢芯鼓伍创始人罗仕洲博士深入介绍了半导体行业的技术发展情况。他表示，当前全球半导体行业面临诸多挑战和机遇，特别是在两极逆全球化的情况下，半导体产业的发展更加需要自主创新和技术突破。新时代动能 AI 的发展为半导体行业带来了新的机遇和挑战，湿法材料装备作为半导体制造中的关键环节，仍然是我国半导体产业的“卡脖子”问题之一。然而，我国半导体产业也具有 F4的强大发展优势，特别是在后摩尔时代，中国在半导体领域的重要机遇不容忽视。他希望，能与各方携手共进，构建一套完善、科学的半导体级臭氧发生器技术标准体系，助力我国半导体产业在标准化的坚实基础上实现高质量、可持续的蓬勃发展。
会上，国促会标委会冀云在主题分享中对企业积极参与标准制修订工作的前瞻眼光和技术实力表示认可，同时感谢青岛国林半导体技术有限公司对本次标准编制工作给予的大力支持。他表示，从技术层面来看，半导体级臭氧发生器有着严苛的要求，高浓度、超纯净、深度精细的臭氧实现技术，是其必备的核心要素。从政策导向来看，国家对于半导体产业高度重视，《中国制造2025》等一系列政策的出台为半导体产业发展提供了有力支持。制定《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准意义重大，一方面，统一的标准能规范市场，引导企业生产出更符合半导体制造需求的臭氧发生器产品，提高产品质量和稳定性；另一方面，有助于推动行业技术进步，促使企业在标准的带领下，不断进行技术创新，提升我国半导体级臭氧发生器在国际市场的竞争力，为我国半导体产业实现自主可控、高质量发展提供坚实保障。
青岛国林半导体公司总经理徐洪魁分享了国产化臭氧技术的发展历程和现状。他介绍了国产臭氧技术在研发、生产、应用等方面取得的突破和进展，同时结合公司实际情况，对《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准进行逐条解读和专题汇报。与会专家和企业代表认真听取标准编制情况，重点围绕标准文本的框架范围、术语和定义、技术要求等内容进行积极研讨，对现有草案提出修改建议和专业意见，旨在进一步提升标准的科学性、规范性与实用性，推动国产臭氧技术在半导体领域标准化发展。
会后，与会人员一同参观了青岛国林半导体公司的科技展厅及洁净车间。在展厅中，大家通过丰富的展品和生动的展示，深入了解了青岛国林半导体公司在半导体级臭氧发生器领域的技术创新和产品应用。在洁净车间，严格的生产环境和先进的生产工艺给大家留下了深刻印象，让大家切实感受到了半导体级臭氧发生器在生产过程中的高标准、严要求。
此次启动会的顺利召开，为半导体级臭氧发生器行业的标准化发展搭建了良好的交流平台，汇聚了行业内的智慧和力量。国促会标委会携手业内专家、优秀企业立项编制《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准，有助于动半导体级臭氧发生器行业的规范化、标准化发展，提升我国在该领域的技术水平和市场竞争力，为半导体产业的高质量发展提供有力支撑，书写我国高端装备制造领域的新篇章。