近年来,我国在高纯多晶硅提纯系统领域取得了突破性成果,一批先进的多晶硅制造商不断提高设备国产化水平,有效解决了我国半导体硅料被国外“卡脖子”的困境。目前,我国已掌握具有自主知识产权的高纯多晶硅提纯技术,并在多家半导体企业广泛应用,为我国半导体产业快速发展提供了有力支持。
近日,由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会(以下简称“国促会标委会”)联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《高纯多晶硅提纯系统技术要求》团体标准启动会成功召开。
会议由国促会标委会标准部迪丽娜尔主持,标准起草组副组长、标准部副主任刘莉慧,标准部裴景朵出席会议。内蒙古大全新能源有限公司、协鑫科技控股有限公司、昆明理工大学、青海丽豪半导体材料有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司、通标中研标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次启动会。
会上,裴景朵就国促会成立以来的发展情况以及工作内容进行详细介绍,迪丽娜尔对《高纯多晶硅提纯系统技术要求》团体标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、标准工作计划进行汇报。
在标准讨论环节,行业专家和参编单位代表围绕《高纯多晶硅提纯系统技术要求》团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则等内容进行积极研讨,旨在规范高纯多晶硅提纯技术,确保多晶硅产品能够满足半导体和新能源产业的高标准要求,进而推动整个产业链的可持续发展与技术进步。
会议最后,刘莉慧副主任对本次会议进行总结发言。她表示,与世界先进水平相比,我国在高纯多晶硅提纯系统方面仍有一定差距。为进一步提升我国高纯多晶硅提纯技术水平,业内企业需加大研发投入,强化技术创新,加快相关领域标准制修订,培育专业人才,推动产业升级。当前,高纯多晶硅提纯系统在我国半导体产业发展中具有重要地位,多晶硅纯度越高,集成电路的性能越好,质量也会更加稳定和可控,有助于半导体行业提升产品质量、提高生产效率、降低生产成本,为我国半导体产业繁荣发展做出积极贡献。
为提升高纯多晶硅生产规模和工艺技术不断进步,本次立项制定《高纯多晶硅提纯系统技术要求》,参照了部分业内优秀企业先进标准,使标准技术内容更加合理,更符合该系统技术的发展趋势,有助于高纯多晶硅产品质量提升及半导体行业高质量发展。接下来,标委会将紧跟产业变化,从试验方法、工艺技术等方面进一步完善标准体系,加快推动标准发布及实施,提高多晶硅提纯技术,进一步促进我国装备制造业、半导体等相关领域健康发展。