MEMS产品作为信息获取和交互的关键器件，对各种机械系统的微型化起着重要作用。凭借形态小、成本低和功能多等优势，MEMS传感器在消费电子、汽车电子、工业、医疗和通信等领域有着广泛应用，其市场规模在全球范围内呈现出快速增长态势。
近日，由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会（以下简称“国促会标委会”）联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《微机电(MEMS)加速度计测试要求》团体标准启动会成功召开。
会议由国促会标委会标准部杨锞主持，标准起草组副组长、标准部副主任王哲，标准部邢辉出席会议。苏州明皜传感科技股份有限公司、南京高华科技股份有限公司、西安交通大学、西北工业大学、苏州感测通信息科技有限公司、北京大学、杭州士兰微电子股份有限公司、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、杭州麦新敏微科技有限责任公司、上海矽睿科技股份有限公司、山东利恩斯智能科技有限公司、通标中研标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次启动会。
会上，邢辉就国促会成立以来的发展情况以及工作内容进行详细介绍，杨锞对《微机电(MEMS)加速度计测试要求》团体标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、标准工作计划进行汇报。
在标准讨论环节，行业专家和参编单位代表围绕《微机电(MEMS)加速度计测试要求》团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、一般要求、一般测试、静态测试等内容进行积极研讨，对微机电加速度计的性能进行综合分析，旨在提升MEMS技术指标，以提高相关产品的各项性能，能够满足微型化、能耗低、性能高等市场需求。
会议最后，王哲副主任对本次会议进行总结发言。他表示，早在2021年“十四五”规划文件中，我国就将智能传感器核心制造技术——微机电系统技术（MEMS）列入科技前沿领域攻关技术。文件中特别提到，要聚焦高端芯片、操作系统、人工智能关键算法、传感器等关键领域，加快推进基础理论、基础算法、装备材料等研发突破与迭代应用。本次立项制定《微机电（MEMS）加速度计测试要求》，有利于贯彻落实《产业结构调整指导目录（2024年本）》等文件精神，加快推进集成电路先进工艺和微机电系统(MEMS)等特色工艺，为各领域带来更多的应用和发展机会。
随着国内设计、制造、封测等多个环节的技术和工艺正在逐步成熟， MEMS 作为连接半导体的产物，受益于物联网产业发展，在消费电子、工业控制、智能家居等领域得到了广泛应用。未来，在MEMS产业快速发展和国家对智能传感器愈发重视的背景下，MEMS相关标准建设速度将明显加快，有助于关键材料和制造设备领域提升国产化进程，推动我国加速度计行业自主创新和高质量发展。