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《电子级氢氟酸技术规范》团体标准启动会顺利召开

2024-08-02

电子级氢氟酸的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重要的影响。近些年,随着我国半导体与光伏行业步入高速发展期,电子级氢氟酸需求与日俱增,国内企业纷纷入局电子级氢氟酸行业,加强其技术研发,以满足不同领域生产和应用需求。

近日,由中国国际经济技术合作促进会标准化工作委员会(以下简称“国促会标委会”)联合通标中研标准化技术研究院共同组织的《电子级氢氟酸技术规范》团体标准启动会成功召开。

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会议由国促会标委会标准部鲁家辉主持,标准起草组副组长、标准部副主任姚涵菁,标准部崔怡冰出席会议。联仕新材料(苏州)股份有限公司、兴国兴氟化工有限公司、滨化集团、大晟芯材料科技(山东)有限公司、索尔维蓝天(衢州)化学品有限公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、浙江森田新材料有限公司、昆山晶科微电子材料有限公司、横店集团东磁股份有限公司、福建省建阳金石氟业有限公司、福建永晶科技股份有限公司、通标中研标准化技术研究院等单位代表及相关行业专家参加本次启动会。

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会上,崔怡冰就国促会成立以来的发展情况以及工作内容进行详细介绍,鲁家辉对《电子级氢氟酸技术规范》团体标准的立项背景、编制情况、编制原则与框架、标准工作计划进行汇报,得到了参会代表的一致认可。

在标准讨论环节,行业专家和参编单位代表围绕《电子级氢氟酸技术规范》团体标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则等内容进行积极研讨,旨在提升我国电子级氢氟酸技术在半导体、太阳能光伏、液晶显示屏等领域中的应用,加速其技术升级和创新发展,全面提高电子级氢氟酸核心技术,以确保其符合下游客户的应用及生产标准,对促进行业标准化水平提升、提高电子级氢氟酸纯度、产能具有积极影响。

会议最后,姚涵菁副主任对本次会议进行总结发言。她表示,电子级氢氟酸作为半导体制造过程中的关键化学品,其质量和纯度对半导体器件的性能和可靠性有着至关重要的影响。而建立完整的《电子级氢氟酸技术规范》团体标准,可以有效加强电子级氢氟酸标准化工作顶层设计,加快关键标准制修订工作,切实发挥好标准对电子级氢氟酸产业的支撑和引领作用,促进其技术及行业高质量发展。

随着互联网、人工智能等产业的快速发展,电子级氢氟酸市场发展前景广阔。通过深入推进电子级氢氟酸行业标准化建设和提高技术水平,可增强国内电子级氢氟酸的竞争力并满足本土市场需求。接下来,标委会将携手更多业内优秀企业,推进行业突破“卡脖子”难题,建立先进合理、科学有效的电子级氢氟酸标准化体系,共同助推行业技术升级、产品迭代,加快我国电子信息等相关产业健康发展。

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